9月17日，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。
华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。 被誉为国产光刻机“第一股”的华卓精科，虽然不生产光刻机整机，但华卓精科生产的光刻机核心子系统双工件台（光刻机的3核心件之一），是除荷兰ASML以外全球唯一掌握光刻机双工件台技术的。
华卓精科是国内自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。 据了解，华卓精科科创板IPO在2020年6月24日获得受理，之后在当年7月23日进入问询状态，之后公司排队逾一年时间。2021年7月29日，上交所官网披露消息显示，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“卓精科”）科创板IPO遭暂缓审议。
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