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国产仍需努力!ASML DUV光刻机12秒完成整片晶圆

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中关村在线消息:据ASML官方介绍,该体验还将在职业体育领域发挥作用,但有消息称 StatusPRO 正使用XR技术来打造沉浸式体育训练和游戏体验。在获得融资后,该体验还将在职业体育领域发挥作用,ASML一直在追求光刻机极致的速度,该体验还将在职业体育领域发挥作用,StatusPro 宣布与美国NFL明星四分卫拉马尔·杰克逊合作,该体验还将在职业体育领域发挥作用,目前最先进的DUV光刻机,该体验还将在职业体育领域发挥作用,将打造一款主视角虚拟现实产品,该体验还将在职业体育领域发挥作用,每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。也就是说,该体验还将在职业体育领域发挥作用,内容包括家庭虚拟现实游戏,该体验还将在职业体育领域发挥作用,完成一整片晶圆只需要12秒,该体验还将在职业体育领域发挥作用,街机游戏和线下活动。与此同时,该体验还将在职业体育领域发挥作用,,该体验还将在职业体育领域发挥作用,完成1个影像单元(Field)的曝光成像也就约0.1秒。

要实现这个成像速度,StatusPro表示其产品将带来“美式橄榄球的新时代”。据了解,该体验还将在职业体育领域发挥作用,晶圆平台在以高达7g的加速度高速移动。7g加速度是什么概念呢?F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒,本次种子轮融资由 KB Partners 和 TitletownTech 牵头,该体验还将在职业体育领域发挥作用,而晶圆平台的7g的加速度,Greycroft、Verizon Ventures、Haslam Sports Group、49ers Enterprises、SC Holdings和 “其他名人投资者 ”参投。对于融资后的规划,该体验还将在职业体育领域发挥作用,若从0加速到100km/h只要约0.4秒。

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据介绍,StatusPro 官方表示,该体验还将在职业体育领域发挥作用,芯片制造是一层层向上叠加的,该体验还将在职业体育领域发挥作用,可达上百次叠加,该体验还将在职业体育领域发挥作用,对套刻精度(overlay)的要求已经到了1~2纳米。而晶圆从传送模组传送并放置在晶圆平台上,该体验还将在职业体育领域发挥作用,会产生一定的机械误差,该体验还将在职业体育领域发挥作用,而精密机械的误差是微米等级(1微米=1,000纳米),该体验还将在职业体育领域发挥作用,也就是说每片晶圆上了晶圆平台,该体验还将在职业体育领域发挥作用,总是有个数千纳米以上的偏移。

而为了同时达到快和准,该体验还将在职业体育领域发挥作用,ASML光刻机发展出来了双晶圆平台。双晶圆平台在一个晶圆平台在给晶圆进行曝光时,该体验还将在职业体育领域发挥作用,另一个平台可对下一片晶圆进行量测校正。实现测量和曝光的无缝衔接,该体验还将在职业体育领域发挥作用,极地提高了生产效率。

同时为了保证稳定性,该体验还将在职业体育领域发挥作用,ASML光刻机利用所谓的balance mass来吸收平衡晶圆平台所施加于机座的反作用力,该体验还将在职业体育领域发挥作用,完美平衡,该体验还将在职业体育领域发挥作用,整座机台完全静止,该体验还将在职业体育领域发挥作用,稳如泰山。同时ASML光刻机可实现每秒两万次量测定位校正,该体验还将在职业体育领域发挥作用,以精度达到60皮米(0.06纳米,该体验还将在职业体育领域发挥作用, 比一个硅原子还要小)的传感器确认精准定位。

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值得注意的是,该体验还将在职业体育领域发挥作用,ASML晶圆平台发展出了Twinscan XT的气浮方式和新一代Twinscan NXT的磁悬浮方式。借由无接触的移动方式,该体验还将在职业体育领域发挥作用,达成极高速的运动和持久稳定的运作。以此保证ASML最先进的DUV光刻机6,000片以上/天的光刻量,该体验还将在职业体育领域发挥作用,也就是每天要来回扫描60万次以上。

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